日前，諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems)宣布自其一年前推出VECTOR Express以來，已為業(yè)界的邏輯器件和存儲(chǔ)器件制造商提供了超過100臺(tái)VECTOR Express產(chǎn)品。目前，VECTOR Express已經(jīng)在半導(dǎo)體行業(yè)十大資本設(shè)備采購(gòu)商中的八家實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。 

       自2007年3月推出以來，VECTOR Express獨(dú)特的SmartSoak功能已為薄膜生產(chǎn)效率和晶圓性能建立了全新產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。利用諾發(fā)公司的多平臺(tái)順序處理(MSSP)結(jié)構(gòu)，SmartSoak通過在先進(jìn)薄膜(如抗反射層、擴(kuò)散阻擋層和氧化隔離層等)沉積過程中提高晶圓溫度的一致性，得以改善薄膜的均勻性，并減少薄膜的缺陷。同時(shí)，SmartSoak還縮短了傳統(tǒng)晶圓加熱流程所耗費(fèi)的時(shí)間，從而大幅提高了設(shè)備的吞吐量。因此，VECTOR Express 有助于產(chǎn)品制造商將PECVD技術(shù)推進(jìn)到45納米乃至更高的水平，同時(shí)確保成本相對(duì)于前代技術(shù)不斷降低。 

       VECTOR Express也為諾發(fā)公司在快速發(fā)展的可灰化硬掩膜(AHM)市場(chǎng)中獲得成功奠定了基礎(chǔ)。通過針對(duì)VECTOR Express開發(fā)的專用反應(yīng)室工具套件，諾發(fā)公司AHM薄膜實(shí)現(xiàn)了出色的蝕刻選擇與CD控制，減少了缺陷，并提高了先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的器件優(yōu)良率。諾發(fā)公司 AHM 技術(shù)于 2007 年 6 月推出，目前已在多家存儲(chǔ)器制造商中實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。 

       諾發(fā)公司PECVD事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理Tim Archer指出：“為保持競(jìng)爭(zhēng)力，提高每代產(chǎn)品的制造品質(zhì)并降低其成本，成為我們客戶的基本需要。在與的半導(dǎo)體制造商合作中，我們開發(fā)出VECTOR Express以滿足這一需求。我們很高興地看到該設(shè)備在推向市場(chǎng)的年就迅速得到認(rèn)可。”