VICTREX PEEK聚合材料、VICOTE涂料和APTIV薄膜等高性能材料的制造商英國威格斯公司(Victrex plc)日前宣布，光罩全方位解決方案供貨商——家登精密股份有限公司(Gudeng Precision Industrial)已采用VICTREX PEEK聚合材料作為其款150mm單光罩標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口傳送盒，簡稱光罩傳送盒(single-reticle SMIF-pod；RSP)應(yīng)用的主要組件材料。通過將VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、極少的顆粒產(chǎn)生量、高潔凈度以及強(qiáng)ESD性能等特性用于與光罩的所有接觸點上，此款專門設(shè)計的光罩傳送盒，能有效地在生產(chǎn)、傳送以及處理光罩過程中，減少產(chǎn)生任何顆粒或釋氣。
       光罩傳送盒應(yīng)用的關(guān)鍵在于處理傳送盒的過程中，包括打開與關(guān)上輸送箱時，需減少或避免產(chǎn)生任何顆粒或釋氣。因此，用戶必須仔細(xì)選擇輸送箱的材料。家登精密技術(shù)經(jīng)理李柏欣表示：“處理和打開光罩輸送箱可能會使光罩受到污染與損壞。此外，在半導(dǎo)體晶圓制造工藝中使用傳送盒來隔開光罩時，傳送盒必須滿足幾項重要的要求。這些要求包括：限制接觸面積，以確保光罩僅在邊緣導(dǎo)角處接觸，而且不會在傳送盒內(nèi)滑動；隔開顆粒，以保護(hù)較小的圖形及限度地降低制造成本；隔離操作員，以避免光罩處理失誤、劃擦與ESD損害；以及控制工藝，以避免處理日益復(fù)雜的光罩時出現(xiàn)失誤。”
       家登精密選擇VICTREX PEEK聚合材料用于其光罩傳送盒的某些關(guān)鍵接觸點與輸送點上，是因為該材料具有硬度高、顆粒產(chǎn)生量極少、潔凈度高及ESD性能強(qiáng)等特性。此外，這種聚合材料還具有卓越的耐化學(xué)腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、良好的電介質(zhì)強(qiáng)度及耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應(yīng)用對關(guān)鍵材料的全部要求。特別是VICTREX PEEK的粒子脫落特性較其它競爭材料更為優(yōu)越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發(fā)特性。
       目前利用這些性能的關(guān)鍵半導(dǎo)體應(yīng)用包括CMP保持環(huán)、晶圓傳輸、晶圓存儲及晶圓箱(FOUP)。