EDA在提高對(duì)可制造性設(shè)計(jì)(DFM)問(wèn)題的認(rèn)識(shí)方面起了很大的作用，但是集成化的DFM解決方案仍然鮮見(jiàn)，特許半導(dǎo)體制造公司平臺(tái)聯(lián)盟總監(jiān)Walter Ng表示。Ng在SPIE先進(jìn)光刻大會(huì)上發(fā)表演講時(shí)向供應(yīng)商詳細(xì)說(shuō)明了由特許和三星發(fā)起的公共平臺(tái)聯(lián)盟是為DFM所用，并列舉了經(jīng)常被重復(fù)的抱怨：EDA供應(yīng)商還不能將DFM完全集成到流程內(nèi)。
      
       “已經(jīng)有一些好的點(diǎn)工具，”Ng說(shuō)，“但這些點(diǎn)工具的價(jià)值有限，除非我們能將它們集成到流程內(nèi)。”Ng表示，公共平臺(tái)聯(lián)盟如今除IBM和特許之外包含三星電子、英飛凌科技和飛思卡爾半導(dǎo)體公司，已與Cadence Design Systems、Synopsys和Magma Design Automation合作在布局布線工具內(nèi)集成了DFM功能。迄今為止，合作已使布線器產(chǎn)生了“少許改變”，Ng說(shuō)道，并補(bǔ)充說(shuō)他認(rèn)為三大供應(yīng)商已幾乎要采取一些大的舉措，“真正為布線增添一些靈巧型的東西。”
      
       Ng表示，該聯(lián)盟正推動(dòng)供應(yīng)商在工具流內(nèi)納入化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)、光刻和關(guān)鍵區(qū)域分析(CAA)。他承認(rèn)，“但是我們可能還要一年或更久才能獲得包含這些功能的集成流程。”
      
       Ng指出，對(duì)DFM的定義仍然沒(méi)有一致看法。他表示，設(shè)計(jì)師解決問(wèn)題方法的差異經(jīng)常很大。“業(yè)內(nèi)對(duì)DFM定義的討論很多，”Ng說(shuō)，“不同的客戶有不同的理解，期望擁有不同的方法。”
      
       盡管業(yè)內(nèi)專(zhuān)家建議，DFM意味著采取較保守的方法進(jìn)行設(shè)計(jì)來(lái)改進(jìn)良品率，一些設(shè)計(jì)師將此視為進(jìn)行較大膽設(shè)計(jì)的機(jī)會(huì)。Ng呼吁對(duì)DRM的成果進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化，聲稱(chēng)此舉將減少DFM實(shí)現(xiàn)成本，“令EDA供應(yīng)商專(zhuān)注于工具，而不是就接口和模型格式爭(zhēng)斗不休。”
      
       被問(wèn)到繼CMP和CAA之后工藝變化性的下一個(gè)領(lǐng)域是什么時(shí)，Ng拒絕回答，稱(chēng)有太多可以列出的可能性。他補(bǔ)充說(shuō)，任何一種可能性的重要性還有待時(shí)日觀察。“如果不能明確這些因素可能產(chǎn)生的總體影響，那么就不會(huì)吸引設(shè)計(jì)師的關(guān)注。”
      
       在演示中，Ng羅列了公共平臺(tái)聯(lián)盟DFM合作伙伴的名單。名單如下：
      
       Simulated yield optimization and leakage reduction: Blaze DFM
      
       DFM校驗(yàn)：Mentor Graphics Corp.
      
       CAA：Ponte Solutions Inc.
      
       DFM布線器增強(qiáng)： Cadence、Synopsys和Magma
      
       CMP仿真： Cadence
      
       Shape仿真：Clearshape Technologies Inc.、Mentor
      
       仿真良品率優(yōu)化和泄漏減少：Blaze DFM