為了減小其無線收發器的尺寸、重量以及功耗，美國國家航空航天局(NASA)已經開始著手一項開發MEMS技術的計劃。在該計劃中，NASA特別關心就是如何縮小用于有空間約束的太空艙外活動(EVA)——俗稱“太空行走”的無線部分的體積。
      
       NASA建議，業界合作伙伴應著手開發可重配的多波段MEMS芯片，以便能夠插入未來頻率靈活的軟件定義無線電設備中進行使用。
      
       太空勘探對器件供應商提出的規格指標令人生畏，其中包括小尺寸、輕重量、低功率、防輻射、抗振動以及極長的壽命。慶幸的是，這些指標似乎與MEMS的定義基本一致，因此研究人員從早的航天飛機發射起就開始使用MEMS。
      
       “如果哪次航天飛機發射沒有用到我們的MEMS器件，我會感到很驚訝的。”模擬器件公司(ADI)應用工程師Harvey Weinberg Sr.表示。
      
       任何航空應用的市場規模都很小，因為每年發射的太空船數量非常有限，針對航天航空的MEMS市場也不例外。但是從另一方面來說，NASA先行開發的技術會慢慢向軍事以及商業領域延伸。以聚四氟乙烯(Teflon)為例，雖然剛開始被用于航天飛船防火外殼的涂層，后來卻被用于普通消費者的鍋碗瓢盆等廚房用具。但是，這種發展途徑對MEMS而言卻恰恰相反。
      
       “對許多MEMS器件來說，其應用出現在商業和軍事領域。”36歲的軍事研究員John Vig指出。Vig建議美國國防先進技術研究計劃署(Darpa)實施RF MEMS開發計劃。“Darpa有一個非常激進的RF MEMS計劃，而且我確信許多Darpa開發人員也希望向NASA提交相關建議。”Vig透露。
      
       針對地面汽車應用的MEMS規范，同樣也能滿足太空勘測的要求。畢竟，汽車內司機和乘客的安全與太空飛船中宇航員的安全沒有太大的區別。而且，汽車應用一般要求至少15年的壽命期，這也能很好地滿足外太空探測的長壽命要求。
      
       “專門針對苛刻環境(例如汽車、軍事和電信市場)而開發的MEMS傳感器，在航天應用中也已被越來越廣泛地采納。”Garner/Dataquest公司研究半導體制造的副總裁Jim Walker表示。
      
       RF MEMS
      
       SiTime公司已經可以生產頻率高達125MHz的MEMS晶振，而且正在開發在同一裸片上集成多個MEMS諧振器的芯片，以期形成實現NASA的超微型軟件定義無線電所需的RF濾波器組。
      
       “MEMS是用于太空勘測的理想技術。”SiTime公司首席技術官Aaron Partridge表示，“MEMS技術可以利用IC基礎架構來生產體積非常小、功耗非常低的極端可靠器件，而且對太空中的輻射和極端溫度不敏感。”
      
       Discera公司也生產MEMS晶振，目前正在開發RF MEMS濾波器和其它無線器件。由于與泰科電子(Tyco Electronics)公司M/A-Com業務部簽訂合約，Discera公司的MEMS芯片已經通過了美國軍方的振動和沖擊免疫性測試。M/A-Com業務部在其智能軍需品的無線發送器中使用了Discera的MOS-1 MEMS晶振。在這次軍品測試中，一些彈頭去掉了彈藥，這樣在發射出去后可撿回彈殼——而揀回后發現Discera的晶振仍在正常工作。