半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML聲稱其一個主要的臺灣客戶采用其Twinscan i-Line scanners系統(tǒng)每個小時處理150個單位的晶圓，24小時不間斷，達(dá)到處理3,596單位晶圓的記錄。
       ASML在本周臺灣臺北市半導(dǎo)體交易會上展示了它的成績。Twinscan系統(tǒng)采用了ASML的專利：雙層晶圓處理技術(shù)，兩個層次是指在計量和影像功能兩方面輪流進(jìn)行，使得不間斷進(jìn)行晶圓影像過程。
       該公司正準(zhǔn)備完善一個系列的scanner，打算在生產(chǎn)效率方面進(jìn)一步增加10％的吞吐量。The XT:400G樣板有望今年底開始出貨。
       我們生產(chǎn)的i-Line系統(tǒng)是面向未來的，它們不但可以提供高的吞吐量，而且可以對45 nm晶圓批量生產(chǎn)進(jìn)行緊密的覆蓋加工。ASML 300-mm 商業(yè)處經(jīng)理Bert Koek說，“由于存儲器芯片市場走向45 nm的沉浸光刻技術(shù)，在后端層的覆蓋技術(shù)是未來幾年成功的關(guān)鍵因素”。
       ASML表示2007年上半年已向臺灣半導(dǎo)體業(yè)界出售30臺300 nm的i-Line系統(tǒng)，比2006年總數(shù)還多。