Aviza日前宣布其新一代單晶原子層沉積(ALD)系統(tǒng) Celsior已交貨于我國(guó)一家集成電路晶圓廠。Celsior系統(tǒng)將用于90納米DRAM的制程中。
      原子層沉積是一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，可以協(xié)助實(shí)現(xiàn)裝置的連續(xù)縮放并滿足90納米及更精密裝置結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格沉積要求。Celsior的一項(xiàng)關(guān)鍵特性是其經(jīng)過生產(chǎn)檢驗(yàn)的平臺(tái)，同樣的軟件平臺(tái)已被應(yīng)用于全球各地晶圓廠生產(chǎn)環(huán)境中的化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD) 和蝕刻(Etch)系統(tǒng)中。